잘 들었습니다

| 2020.03.08

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신소재공학과 졸업한 학생으로 전공시간에 배웠던 플라즈마의 원리와 이론에 대해 다시 한번 정리할수 있는 계기가 되었습니다. 전반적으로 플라즈마의 정의, 원리 그리고 공정에 응용되는 부분까지 한번에 정리가 되었고, 또한 물리 화학 재료 기계 부분에서 각각 플라즈마가 쓰이는 부분과 그에 맞게 정리가 되어있어 재료과지만 다른 부분에서 필요한 내용도 쉽게 알 수 있었고, 또한 열역학 법칙부터 식각, 그리고 박막증착 등 플라즈마와 연관된 부분을 유기적으로 연결지어 설명해주셔서 공부가 수월하게 되었습니다. 단위공정에서 식각, 이온주입, 포토, 증착 등 매우 중요한 공정들을 공정 사이클에서 cmos등으로 연결지어 설명해주셔서 이해가 잘 되었던것 같습니다.

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